微资讯！中科仪（920186）：拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目
来源：每日经济新闻 2026-10-20 19:59:20
【资料图】
中科仪（920186）：拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目 每经讯，中科仪10月20日发布公告称，伴随国内集成电路产业快速发展，半导体装备核心零部件国产化需求持续攀升，集成电路干式真空泵市场空间稳步扩容。为顺应行业市场需求变化，匹配公司中长期经营发展战略，公司拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目。公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目，旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，降低外协依赖，优化产品成本结构，从而提升整体盈利水平。项目资金来源为自筹资金，项目拟投资约4.23亿元，其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资约1.91亿元，实施主体为：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资约2.32亿元，实施主体为：中科仪(南通)半导体设备有限责任公司。（记者陈鹏程）免责声明：本文内容与数据仅供参考，不构成投资建议，使用前请核实。据此操作，风险自担。每日经济新闻
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